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YES Heating Technix CO.,LTD.
반도체 및 Display 제조장비의 Process Chamber로 부터 배출되는 반응 부산물이
진공 배관의 온도저하로 내부에 고착되어 막히는 현상을 방지하기 위하여 진공배관을
가열하고 온도를 일정하게 유지함으로써 장비의 성능저하, 생산성 감소를 예방하고
경제적 손실을 줄여 주는 중요제품
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산업 현장용 H/J에는 정확한 온도제어를 하기 위한 사양에 맞는 Controller를 사용.
H/J에 설치된 TCU(온도센서)에서 측정된 온도 DATA의 이상 발생시 SSR(릴레이)에
출력을 내보내고 Buzzer 알람 기능으로 문제에 대해 신속히 전파하여 생산 Loss를
최소화하고 예방하는데 효율성이 높으며, PID 제어방식으로 설정온도와 히터온도의
오차를 최소화하여 생산과 경제적인 효율성을 갖춘 SYSTEM
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반도체, 실험 및 약품처리 과정에서 발생되는 유해가스 및 휘발성 유기화합물(VOC'S),
악취,FUME 등을 실험실 공간 내 확산 이전에 효과적으로 중화시켜 Eng'r 연구원 및
기술 개발 종사자들의 건강과 쾌적한 실내 공간을 유지시켜주기 위해 필요한 장비 Main Equipment Process Chamber의 Cleaning 작업 중 발생하는 Toxic Gas Fume을 수집, 배기 Duct로 배출하여 Fab내 환경오염을 방지하는 장치