EQUIPMENT
저희 ㈜예스히팅테크닉스는 고객의 만족을 추구하는 히팅자켓 전문기업으로써 다양한 분야에 적용가능한 제품을 개발 및 제작하고 있습니다.
장비 Main Equipment 및 Process Chamber Clean 작업중 발생하는 Toxic Gas Fume을 수집, 배기 Duct로 배출함으로 작업장 환경오염을 방지하는 장치
| Category | Specification |
|---|---|
| 전원 | 단상 220V, 7A |
| 제어 전원 | DC 24V |
| Utility | Clean air, 3/8" |
| Air 압력 | 6~8kg/cm² |
| Pipe 관경 | Ø 100 / Ø 120 (사업장 및 라인에 따라 상이) |
| 표준형 | 1940(L), 30kg |
| 자바라 길이 | 5.5M 이상 |
Main Equipment Process Chamber의 Cleaning 작업중 발생하는 Toxic Gas Fume을 수집, 배기 Duct로 배출하여 Fab내 환경오염을 방지하는 장치
| Category | Specification |
|---|---|
| 전원 | 단상 220V, 7A(플러그 Type) |
| 장비 크기 | 480(W) * 480(D) * 810(H) |
| 무게 | 80kg |
| 배기 | Main 산 배기 Duct 이용(100A) |
| 전원 케이블 | VCT 1.55Q * 3C * 10M. 자동 감김(매립형) |
| 최대 풍량 | 17.1m³/min |
| Hood 타입 | 원형 Ø350(표준) → 변형 제작 가능 |
| 토출 압력 | 115mmAq |
| 흡입구 풍속 | 6m/s |
반도체, 실험 및 약품처리 과정에서 발생되는 유해가스 및 휘발성 유기화합물(VOC's), 악취, Fume 등을
실험실 공간내 확산 이전에 효과적으로 중화시켜 Eng'r, 연구원 및 기술개발 종사자들의 건강과 쾌적한
실내 공간을 유지시켜주기 위해 필요한 장비
| Category | Specification |
|---|---|
| 흡입구 풍속 | 10m/s |
| 사용 전압 | 단상 220V 60Hz |
| 소모 전력 | 950W/5A |
| 토출 압력 | 450mmAq |
| 최대 풍량 | 10m³/min |
| Body 규격 | 450 X 650 X 1000 |
| 무게 | 120kg |